磁透镜的改进

2016-05-10技术资料

在电子显微镜中,为了提高放大倍数需要短焦拒的强磁透镜。 如果只用加强磁场来缩短焦臣, 则会由于磁场加强, 磁场沿轴向的广延度也增大, 使—部分磁力线处在线困外对聚焦不起作用。 继续增强磁场, 焦距缩短到—定程度后, 会引起电子的多次聚焦— 反而使成像质堑变坏。为了在加强励磁的向时,又能缩小磁场的范围, 把线圈装在具有环形决缝的软磁铁壳中, 使大最磁力线集中在缝隙附近的狭小区域内— 能有效地增强磁场强度. 为了进 —步缩小磁场的铀向宽度, 在铁壳狭缝两边加上 .对顶端呈圆锚状的极微 t如图 10-鸵所示人 极靴用高导磁率的纯铁、 坡莫合余等制成, 它可使有效磁场尽—可能集中在磁透镜轴上很短的距离内(几毫米)。图10-5给出了上述三种透镑轴向磁场强度分布的曲线。

磁透镜的改进

综上所述—磁透镜的况点是: 通过改变励磁电流可调节透镜的焦距和放大倍数; 励磁线圈不需要加高压, 易于绝缘; 磁透镜有好的成像质量, 在电镜中应用极为广泛;它的性能还在不断地提高, 放大倍数可达300倍左右。